Pusvadītāju{0}}pakāpes kriogēnā slāpekļa ģenerēšana

In high-end semiconductor manufacturing, impurities like H₂O, O₂, CO₂, and THC cause wafer defects and yield loss. On-site nitrogen generation is unstable and energy-hungry; liquid nitrogen is costly and risky. Semiconductor-grade cryogenic nitrogen generation delivers >99,9999% tīrība (O₂<1 ppm) from a single skid with low energy use—now standard for 12-inch fabs, advanced packaging, and compound semiconductor lines.

Nosūtīt pieprasījumu

Tērzēšana tūlīt

Produkta ievads

Augstas kvalitātes-pusvadītāju ražošanā piemaisījumu pēdas procesa vidē -H₂O, O₂, CO₂ un THC- tieši izraisa plāksnīšu defektus un ražas zudumu. Parastā -slāpekļa ražošana uz vietas bieži cīnās ar tīrības svārstībām un lielāku enerģijas patēriņu, savukārt šķidrā slāpekļa piegāde saskaras ar piegādes ķēdes nenoteiktību un pieaugošām loģistikas izmaksām. Pusvadītāju-pakāpes kriogēnā slāpekļa ražošana risina šīs problēmas, izmantojot kriogēno destilāciju, nodrošinot augstas-tīrības slāpekli ar skābekļa saturu zem 1 ppm nepārtraukti no vienas slīdēšanas, vienlaikus saglabājot enerģijas patēriņu vadošajā nozarē-. Tas ir kļuvis par standarta slāpekļa avotu 12 collu fabs, uzlabotas iepakošanas iekārtas un salikto pusvadītāju ražošanas līnijas.

Darbības princips

Sistēma darbojas ar kriogēno gaisa destilāciju. Padeves gaiss tiek pakļauts daudzpakāpju-filtrācijai un siltuma-reģenerācijas saspiešanai, pirms tas nonāk atgriezeniskā vai molekulārā-sieta attīrīšanas vienībā, kur tiek noņemts H₂O, CO₂ un ogļūdeņraži. Attīrītais gaiss tiek pakāpeniski atdzesēts līdz aptuveni -170 līdz -196 grādiem frakcionēšanas kolonnā, kur skābeklis un slāpeklis tiek atdalīti pēc viršanas temperatūras starpības (skābeklis: -183 grādi, slāpeklis: -196 grādi), izmantojot nepārtrauktu rektifikāciju strukturētā iepakojumā. Augstas tīrības pakāpes slāpeklis tiek ņemts no kolonnas augšdaļas, bet ar skābekli bagātinātās izplūdes gāzes tiek izvadītas vai reģenerētas apakšā. Slēgta cikla turboekspanderis nodrošina dzesēšanas jaudu; Pēc iedarbināšanas sistēma vienmērīgi darbojas tikai ar elektrību un dzesēšanas ūdeni, bez adsorbenta sabrukšanas vai periodiskas nomaiņas.

Veiktspējas specifikācijas

Parametrs	Diapazons
Slāpekļa tīrība	99,9995% ~ 99,9999% (O₂ mazāks vai vienāds ar 1 ppm, CO₂ mazāks vai vienāds ar 0,1 ppm)
Plūsmas ātrums (Nm³/h)	50 ~ 3000 katrā kolonnā (izvēršama paralēli)
Piegādes spiediens (MPaG)	0,4 ~ 1,0 (regulējams)
Rasas punkts ( grāds )	Mazāks vai vienāds ar -70 (pie atmosfēras spiediena)
Palaišanas laiks-(auksts)	Mazāks vai vienāds ar 60 min
Atgriešanas koeficients	50% ~ 110% nepārtraukti

Tipisks enerģijas patēriņš (pie 1000 Nm³/h, 0,6 MPaG):

Īpatnējā jauda: 0,28 ~ 0,32 kWh/Nm³
Dzesēšanas ūdens: aptuveni . 45 t/h (Δt=8 grādi)
Instrumenta gaiss: mazāks vai vienāds ar 5 Nm³/h

Salīdzinot ar parastajām divu -kolonnu konfigurācijām, šī sistēma nodrošina par aptuveni 8%–12% mazāku vienības enerģijas patēriņu, pateicoties augstas -efektivitātes pastiprinātāja turboekspanderam un optimizētajām kolonnas iekšējām ierīcēm.

Tehniskie dati (tipisks modelis)

Vienums	Specifikācija
Modelis	SCNG-1000
Slāpekļa izvade	1000 Nm³/h
Tīrība	99.9995%
Darba spiediens	0,6 MPaG
Slāpekļa izplūdes temp.	Apkārtējā (+5 grādi ~ +35 grāds)
Apkārtējās vides temp. diapazons	5 grādi ~ 45 grādi
Barošanas avots	380V/50Hz/3P
Padeves gaisa patēriņš	4200 Nm³/h pie 0,7 MPaG
Dzesēšanas ūdens pieprasījums	45 t/h (ieplūde 32 grādi, izplūde 40 grādi)
Uzstādīta jauda	aptuveni . 320 kW
Slīdēšanas izmēri (L × P × A)	12m × 4.5m × 5.8m
Slīdēšanas svars	aptuveni . 28 t

Vērtības ir balstītas uz standarta projektēšanas nosacījumiem; faktiskie skaitļi var atšķirties atkarībā no vietas augstuma, apkārtējās vides temperatūras un īpašiem lietderības apstākļiem.

Lietojumprogrammas

Šī sistēma ir paredzēta nepārtraukta{0}}procesa vidēm, kas nosaka stingrus ierobežojumus gāzveida piesārņotājiem:

12 collu / 8 collu vafeļu izgatavošana – attīrīšana un nesējgāze difūzijai, CVD, kodināšanai un jonu implantācijai.
Uzlabots iepakojums (izsitumi, TSV) – atmosfēras kontrole reflow krāsnīs, lai samazinātu lodēšanas oksidāciju.
Saliktie pusvadītāji (SiC, GaN) – nesējgāze un atšķaidīšanas gāze epitaksiālās augšanas laikā.
Litogrāfijas un masku{0}}izgatavošana — iztīriet gāzi dziļiem-UV optiskajiem ceļiem, lai novērstu skābekļa absorbcijas ietekmi no ekspozīcijas enerģijas novirzīšanas.
Lielapjoma degvielas uzpildes stacijas alternatīva — kalpo kā galvenā vienība{0}}uz vietas esošajam gāzes būvētavai, aizstājot šķidrā slāpekļa padevi vai augstspiediena balonu blokus-.

Sertifikāti, piegādes apjoms un pielāgošana

Dizaina kodi: ASME VIII-1 / GB/T 150, HG/T 3186 spiedtvertnēm; cauruļvadi pa B31.3.
Elektriskā un bīstamā zona: pieejams ar I klases 2. div. vai ATEX 2. zonas atbilstību; vadības sistēma ar SIL 2 dublēšanu.
Piegādes iespējas: pilnībā slīdoši{0}}uzmontētas vienības (aukstuma kaste, turboekspanders, attīrītājs un vadības ierīces, kas iepriekš samontētas uz tērauda pamatnes) vai brīvi{2}}piegādāti komponenti vietnēm ar celšanas ierobežojumiem.
Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1500 m) vai augstas{2}temperatūras vidēs; īpašus rasas-punkta vai pēdu-piemaisījumu ierobežojumus var pielāgot, izmantojot pielāgotus destilācijas ciklus.
Dokumentācijas pakotne: P&ID, vispārīgie izkārtojuma rasējumi, elektriskās shēmas, ekspluatācijas un apkopes rokasgrāmatas, HAZOP kopsavilkums, FAT/SAT protokoli un testu atskaites.

Atbalsts un pēc{0}}pārdošana

Attālā uzraudzība: standarta IoT vārteja ar Modbus TCP savienojumu ar rūpnīcas DCS vai SCADA; mākoņa datu dublēšana (neobligāti uz-telpas servera).
Rezerves daļas: 3–5 gadu rezerves daļu komplekti, kas aptver turboekspandera gultņus, molekulāro sietu un vārstu blīves, kas tiek piegādāti kopā ar galveno aprīkojumu.
Pakalpojumi uz vietas: uzstādīšanas uzraudzība, palaišana-un nodošana ekspluatācijā, operatoru apmācība (klase + praktiskā darbība-) un ikgadējā veiktspējas pārbaude.
Garantija: 12 mēneši no pilnīgas sistēmas pieņemšanas; Aukstās -turboexpandera gala sastāvdaļas pagarinātas līdz 24 mēnešiem.

Shenger Gas piedāvā visas iekšējās iespējas -kriogēnā slāpekļa ģenerēšanai-, sākot no destilācijas procesa simulācijas un kolonnas iekšējo elementu hidrauliskajiem aprēķiniem līdz aukstumkastes sprieguma analīzei,{2}}to visu pabeidz mūsu pašu inženieru komanda. Katrai vienībai pirms nosūtīšanas tiek veikta pilnīga-slodzes veiktspējas pārbaude. Pusvadītāju lietojumprogrammām mēs piedāvājam papildu saskarnes, lai integrētu-līnijas daļiņu uzraudzību un izsekojamības-piemaisījumu analīzes integrāciju, nodrošinot slāpekļa kvalitātes izsekojamību un pārbaudi visā ražošanas laikā. Lai turpinātu diskusiju par konkrētām tīrības pakāpēm, plūsmas svārstībām vai vietas izkārtojuma ierobežojumiem, mūsu tehniskās inženieru grupa ir pieejama konsultācijām.